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    静电吸盘广泛应用于半导体制造设备。静电吸盘是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，是PVD设备、CVD设备、刻蚀机、离子注入设备的核心部件。

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